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L’obiettivo di questo breve tutorial è definire quali materiali sono trattabili mediante processi di deposizione in alto vuoto. Questo è un tema importante per chi si approccia per la prima volta ai processi di deposizione, pensando magari di applicarli ai propri prodotti.
Le pompe a diffusione sono dispositivi statici, ovvero privi di parti meccaniche in movimento, utilizzate come dispositivi primari di pompaggio in impianti nei quali il grado di vuoto necessario è nell’intervallo compreso tra 1e-4 e 1e-9 mbar. Si tratta dei primi dispositivi sviluppati in grado di generare un’azione di pompaggio nel cosiddetto regime molecolare di vuoto, ovvero quello nel quale il cammino libero di ciascuna molecola presente in una camera chiusa è maggiore delle dimensioni della camera stessa.
Nel mondo delle apparecchiature per alto vuoto, vi è spesso l’esigenza di effettuare degli accoppiamenti fissi tra componenti meccanici in grado di garantire le necessarie condizioni di tenuta tra un ambiente a bassa pressione e l’atmosfera. Gli standard più utilizzati al giorno d’oggi, per la progettazione di questi accoppiamenti, sono fondamentalmente tre: CF, KF ed ISO. Vediamone le caratteristiche generali ed i criteri di scelta.
Le pompe turbomolecolari sono una delle parti più iconiche di un impianto di deposizione in vuoto. Il loro aspetto evoca la struttura di un turbocompressore del tipo utilizzato nei motori degli aerei commerciali a reazione (turbofan).
Avrete notato che la finitura delle superfici interne delle camere a vuoto tende ad essere sempre più accurata via via che il vuoto base che si desidera ottenere è più spinto. Il motivo è che la quantità di acqua che è necessario gestire a causa del fenomeno di outgassing, aumenta con l’aumentare della rugosità superficiale della camera.
Gli o-rings sono elementi fondamentali degli impianti in alto vuoto. Si tratta di guarnizioni in materiale elastomerico, a sezione circolare, destinati ad essere inseriti in appositi alloggiamenti, detti cave, e ad essere compressi durante l’uso, fungendo da elemento di sigillatura.
Molti processi industriali di deposizione in vuoto necessitano di un ambiente con una composizione dell’ambiente controllata: nelle camere viene quindi immessa con continuità una certa quantità di gas tecnici ad alta purezza, utilizzando delle valvole a flusso controllato denominate MFC (Mass Flow Controllers).
L’alluminio, anche se non molti lo sanno, è un metallo con proprietà straordinarie. Non esiste in natura allo stato metallico, ma sempre sottoforma di composti, il più noto dei quali è la Bauxite, nella quale è contenuto sottoforma di ossidi ed idrossidi.
Il vuoto assoluto è l'assenza di materia nello spazio. Quante particelle sono presenti nelle piccole camere UHV usate nei laboratori? Ce lo siamo chiesti in questo articolo!
Nei sistemi di pompaggio per impianti in vuoto, è frequente l’impiego di pompe a vani rotanti in bagno d’olio. In queste macchine, l’olio riveste delle funzioni importanti per il corretto funzionamento del macchinario.