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Le pompe turbomolecolari sono una delle parti più iconiche di un impianto di deposizione in vuoto. Il loro aspetto evoca la struttura di un turbocompressore del tipo utilizzato nei motori degli aerei commerciali a reazione (turbofan).
Avrete notato che la finitura delle superfici interne delle camere a vuoto tende ad essere sempre più accurata via via che il vuoto base che si desidera ottenere è più spinto. Il motivo è che la quantità di acqua che è necessario gestire a causa del fenomeno di outgassing, aumenta con l’aumentare della rugosità superficiale della camera.
Gli o-rings sono elementi fondamentali degli impianti in alto vuoto. Si tratta di guarnizioni in materiale elastomerico, a sezione circolare, destinati ad essere inseriti in appositi alloggiamenti, detti cave, e ad essere compressi durante l’uso, fungendo da elemento di sigillatura.
Molti processi industriali di deposizione in vuoto necessitano di un ambiente con una composizione dell’ambiente controllata: nelle camere viene quindi immessa con continuità una certa quantità di gas tecnici ad alta purezza, utilizzando delle valvole a flusso controllato denominate MFC (Mass Flow Controllers).
L’alluminio, anche se non molti lo sanno, è un metallo con proprietà straordinarie. Non esiste in natura allo stato metallico, ma sempre sottoforma di composti, il più noto dei quali è la Bauxite, nella quale è contenuto sottoforma di ossidi ed idrossidi.