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Le pompe turbomolecolari sono una delle parti più iconiche di un impianto di deposizione in vuoto. Il loro aspetto evoca la struttura di un turbocompressore del tipo utilizzato nei motori degli aerei commerciali a reazione (turbofan).
Molti processi industriali di deposizione in vuoto necessitano di un ambiente con una composizione dell’ambiente controllata: nelle camere viene quindi immessa con continuità una certa quantità di gas tecnici ad alta purezza, utilizzando delle valvole a flusso controllato denominate MFC (Mass Flow Controllers).
Nei sistemi di pompaggio per impianti in vuoto, è frequente l’impiego di pompe a vani rotanti in bagno d’olio. In queste macchine, l’olio riveste delle funzioni importanti per il corretto funzionamento del macchinario.
La gestione del "water load" nelle lavorazioni a vuoto rappresenta sempre una problematica dovuta alla composizione molecolare dell'acqua. L'impiego di sistemi criogenici può aiutare l'eliminazione dell'acqua presente negli impianti di deposizione in vuoto.
Il trattamento in vuoto necessita di condizioni ambientali particolari. Ma perché è necessario utilizzare un ambiente a pressione ridotta e quali sono le tipologie di pressione impiegate in questa tecnica? Ecco spiegati i motivi.
Ampio insieme di processi che vengono utilizzati dall'industria per depositare film sottili, con una vasta gamma di composizioni e scopi, su substrato con composizione in gran parte variabile, sfruttando un ambiente ad alto vuoto.