Pompe per vuoto

Le pompe a diffusione sono dispositivi statici, cioè privi di parti meccaniche in movimento, utilizzati come dispositivi di pompaggio primari in sistemi in cui il grado di vuoto richiesto è nell'intervallo tra 1e-4 e 1e-9 mbar. Questi sono i primi dispositivi sviluppati in grado di generare un'azione di pompaggio nel cosiddetto regime di vuoto molecolare, cioè quello in cui il cammino libero di ciascuna molecola presente in una camera chiusa è maggiore delle dimensioni della camera stessa.

Le pompe turbomolecolari sono una delle parti più iconiche di un impianto di deposizione sotto vuoto. Il loro aspetto evoca la struttura di un turbocompressore del tipo utilizzato nei motori degli aerei commerciali a reazione (turbofan).

Nei sistemi di pompaggio per impianti a vuoto, è comune utilizzare pompe rotative a palette. In queste macchine, l'olio ha funzioni importanti per il corretto funzionamento della macchina.