Controllo gas e processo
Approfondimenti sul controllo gas e processo da Alca Technology: mass flow controller, misura e regolazione per processi di vuoto e deposizione precisi.
Gas tecnici nei processi di deposizione sotto vuoto
- Approfondimenti
- Controllo gas e processo
Molti processi industriali di deposizione sotto vuoto richiedono un ambiente con una composizione controllata: una certa quantità di gas tecnici ad alta purezza viene quindi alimentata continuamente nelle camere, utilizzando valvole a flusso controllato chiamate MFC (Mass Flow Controller).